Publications



Αποτελέσματα για 1-1 από 1.

Ημερομηνία ΈκδοσηςΤίτλοςΣυγγραφέας
12009Stress evolution in magnetron sputtered Ti–Zr–N and Ti–Ta–N films studied by in situ wafer curvature: role of energetic particlesAbadias, Gregory ; Koutsokeras, Loukas E. ; Guerin, Philippe ; Patsalas, Panos A.