Publications



Refined By:
Περιοδικό:  Journal of Vacuum Science & Technology A
Τύπος:  Article

Αποτελέσματα για 1-1 από 1.

Ημερομηνία ΈκδοσηςΤίτλοςΣυγγραφέαςJournal
1Ιου-2010Reactive magnetron cosputtering of hard and conductive ternary nitride thin films: Ti–Zr–N and Ti–Ta–NAbadias, Gregory ; Dub, Sergey N. ; Koutsokeras, Loukas E. Journal of Vacuum Science & Technology A