Refined By:
Περιοδικό:  Journal of Vacuum Science & Technology A
Πλήρες Κείμενο:  No Fulltext

Αποτελέσματα για 1-1 από 1.

Ημερομηνία ΈκδοσηςΤίτλοςΣυγγραφέας
1Ιου-2010Reactive magnetron cosputtering of hard and conductive ternary nitride thin films: Ti–Zr–N and Ti–Ta–NAbadias, Gregory ; Dub, Sergey N. ; Koutsokeras, Loukas E.